Сайты ТУСУРа

Физика и технология МЭМС, 2024

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева


Год издания: 2024

Основная литература

Дополнительная литература

Учебно-методическое пособие

Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с.
Доступно в библиотеке: 24 экземляра


Дисциплины

+

Физика и технология МЭМС

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.01

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 1

Семестр: 2

Учебный план набора 2023 года