Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2025 года
Институт радиоэлектронной техники
Основная литература
Ефимов, Иван Ефимович. Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность : Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : учебное пособие / Т. И. Данилина ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 151 с.
Доступно в библиотеке:
46
экземпляров
Дополнительная литература
Смирнова, Клара Ивановна. Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 183 с.
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Гимпельсон, Владимир Давидович. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники : / В. Д. Гимпельсон, Ю. А. Радионов. - М. : Машиностроение, 1976. - 328 с.
Доступно в библиотеке:
39
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Чистоедова, Инна Анатольевна. Основы технологии электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направлений подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 80 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дисциплины
Учебно-проектная деятельность (УПД-4)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем
Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.04.02
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ИРЭТ
Курс: 4
Семестр: 7
Учебный план набора 2025 года
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00