Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2023 года
Автор:
Аксенов А. И.
Год издания: 2026
Основная литература
Сушков А.Д. Вакуумная электроника. Физико-технические основы : учебное пособие для вузов - СПб. : Лань, 2004. - 462 с.
Доступно в библиотеке:
37
экземпляров
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Степаненко, Игорь Павлович. Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов. - М. : Лаборатория Базовых Знаний , 2004. - 488 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Джонс, Мартин Хартли. Электроника - практический курс : Пер. с англ. / М. Х. Джонс ; пер. : Е. В. Воронов, А. Л. Ларин. - 2-е изд., испр. . - М. : Техносфера, 2006. - 510[2] с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Проектирование технологических процессов производства приборов квантовой и оптической электроники
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: ФТД.02.04
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 4
Семестр: 7
Учебный план набора 2023 года