Для доступа необходимо войти в систему
Очная форма обучения, план набора 2021 г.
Изучается: 6 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02
Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники
Рабочая программа
Основная литература
Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР , 2007. - 109 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР , 2000. - 140 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио , 1977. - 69[4] с
Доступно в библиотеке:
28
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета , 1991. - 124 с
Доступно в библиотеке:
114
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография. - Томск : ТУСУР , 2007. - 179[1] с
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР , 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Смирнова, Клара Ивановна. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат). - Томск : ТУСУР , 2007. - 49 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Зачет с оценкой | 6 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Практические занятия | 56 | 56 | часов | |||||||
| ↳ из них практическая подготовка | 56 | 56 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 88 | 88 | часов | |||||||
| ↳ из них практическая подготовка | 0 | часов | ||||||||
| Общая трудоемкость | 144 | 144 | часов | |||||||
| 4 | 4 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ПКР-2 | Готов проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники |
| ПКР-3 | Готов анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций |