Сайты ТУСУРа

Методы и технология литографических процессов

11.04.04 - Электроника и наноэлектроника (Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника)

Очная форма обучения, план набора 2023 г. (индивидуальный учебный план)

Изучается: 2 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.04

Обеспечивающая кафедра: Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Дополнительная литература

Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 29 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачет с оценкой 2

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности -2 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия1818часов
Практические занятия1818часов
Самостоятельная работа3636часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Общая трудоемкость7272часов
22З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-2 Способен использовать современные достижения науки и передовые технологии в профессиональной деятельности