Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Дополнительная литература
Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
29
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Методы и технология литографических процессов
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.04
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 1
Семестр: 2
Учебный план набора 2023 года