Сайты ТУСУРа

Методы и технология литографических процессов, 2024

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева


Год издания: 2024

Основная литература

Дополнительная литература

Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 29 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Методы и технология литографических процессов

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.04

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 1

Семестр: 2

Учебный план набора 2023 года