Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и структур: Лабораторный практикум / Чистоедова И. А., Смирнов С. В. — 2024. 62 с.
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и структур

Лабораторный практикум

Целью лабораторного практикума является освоение методов анализа и контроля наноструктурированных материалов и структур, приобретение студентами практических навыков работы с современным контрольно-измерительным оборудованием. В практикуме содержится необходимый теоретический материал, методические рекомендации для выполнения лабораторных работ, а также вопросы для контроля. Приведены пять лабораторных работ, в основу которых положены четыре наиболее распространенных и перспективных физических метода контроля параметров наноструктурированных материалов и структур – спектрометрическое оценивание толщины тонких пленок, рамановская и инфракрасная (ИК) Фурьеспектроскопия, растровая электронная микроскопия. Практикум предназначен для студентов технических вузов, ориентированных на формирование компетенций в области микро-и наноэлектроники, нанотехнологий.

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Чистоедова, И. А. Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и структур: Лабораторный практикум [Электронный ресурс] / И. А. Чистоедова, С. В. Смирнов. — Томск: ТУСУР, 2024. — 62 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/11215
Авторы:   Чистоедова И. А. и Смирнов С. В.
Год издания: 2024
Количество страниц: 62
Скачиваний: 131

Оглавление (содержание)

Введение ..................................................................................................................................................................................4

Лабораторная работа № 1

ИЗМЕРЕНИЕ ПРОФИЛЯ КОНЦЕНТРАЦИИ В ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ СТРУКТУРЕ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ

ВОЛЬТ-ФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ................................................................................................................................5

Лабораторная работа № 2

ИЗУЧЕНИЕ МЕТОДОВ РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА......................................................................................16

Лабораторная работа № 3

ПОГЛОЩЕНИЕ СВЕТА РАСТВОРАМИ..................................................................................................................................28

Лабораторная работа № 4

ИНФРАКРАСНАЯ ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ ...................................................................................................................34

Лабораторная работа № 5

СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ ................................................................................................46

Рекомендуемая литература..................................................................................................................................................61

List icon

Похожие пособия

Антенны: Лабораторный практикум / Фатеев А. В., Запасной А. С., Клоков А. В. — 2018. 66 с.

Безопасность сетей ЭВМ. Часть 1: Лабораторный практикум / Новохрестов А. К., Гуляев А. И. — 2017. 92 с.

Программирование и основы алгоритмизации: Лабораторный практикум / Мельников А. В., Истигечева Е. В. — 2015. 31 с.

Системы LTE: Лабораторный практикум / Крюков Я. В., Демидов А. Я., Попова К. Ю. — 2015. 63 с.

Цифровая и микропроцессорная техника: Лабораторный практикум / Воронин А. И. — 2018. 75 с.

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00