Учебное пособие
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
1 Физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий фотоники
1.1 Физико-химические процессы получения некоторых полупроводниковых кристаллических материалов
1.2 Физико-химические процессы производства диэлектрических материалов
1.3 Порошковая технология
1.4 Физико-химические процессы получения газообразных и жидких материалов
1.5 Подготовка материалов к технологическим операциям
1.6 Физико-химические процессы получения наноматериалов
1.7 Контрольные вопросы
2 Кинетические диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах
2.1 Уравнение состояния процесса
2.2 Кинетическое уравнение элементарного технологического процесса откачки газа
2.3 Кинетика термического испарения материалов в вакууме
2.4 Физико-химические процессы кинетики конденсации пленок
2.5 Поверхностные и диффузионные явления при проведении технологических операций
2.6 Диффузионные явления в технологических процессах
2.7 Диффузионное газовыделение
2.8 Поверхностная диффузия при формировании пленок
2.9 Объемная диффузия при легировании материалов
2.10 Определение механизма диффузии газов из материала
2.11 Межфазные взаимодействия в технологических процессах
2.12 Теплота, внутренняя энергия, энтальпия, энтропия, свободная энергия
2.13 Фазовая диаграмма
2.14 Применение теории межфазных взаимодействий при формировании высококачественных пленок
2.15 Кинетика процесса молякулярно-лучевой эпитаксии
2.16 Фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных пленок
2.17 Контрольные вопросы
3 Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии
3.1 Вакуумная технология
3.2 Технология получения вакуума
3.3 Измерение вакуума
3.4 Методы исследования вакуумных систем на герметичность
3.5 Физические основы электронно-лучевой и лазерной технологии
3.6 Физические основы ионно-лучевой технологии
3.7 Физические основы плазменной технологии
3.8 Применение потоков электронов ионов и плазмы в упрочняющих технологиях
3.9 Контрольные вопросы к главе 3
Список рекомендуемой литературы
Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве
Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве
Специальные вопросы технологии приборов оптической электроники
11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве