Технология приборов оптической электроники и фотоники

Введение

Раздел 1. Подготовка к проведению технологического процесса

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

1.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 2. Технологичность изготовления приборов оптической электроники и фотоники

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3. Технология получения высокого вакуума в производстве приборов оптической электроники. Масс-спектрометрия

3.1 Содержание раздела

3.2 Методические указания по изучению раздела

3.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4. Масс-спектрометрия

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 5. Межфазные взаимодействия в технологии формирования приборов оптической электроники и фотоники

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 6. Технология подготовки поверхности оптических материалов к технологическим процессам (очистка)

6.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 7. Методы формирования нанослоев для приборов оптической электроники и фотоники

7.1 Содержание раздела

7.2 Методические указания по изучению раздела

7.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 8. Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов оптической электроники

8.1 Содержание раздела

8.2 Методические указания по изучению раздела

8.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 9. Основы технологии изготовления оптоэлектронных приборов на основе арсенида галлия

8.1 Содержание раздела

Конструкции установок молекулярно-лучевой эпитаксии «КАТУНЬ», «АНГАРА» и др.

8.2 Методические указания по изучению раздела

8.3 Вопросы для самопроверки

9 Тесты для проработки лекционного материала

10 Лабораторные работы

11 Практические занятия

11 Интерактивные занятия и их контроль

12 Темы для самостоятельного изучения разделов

13 Индивидуальные задания для самостоятельной работы

Заключение

Рекомендуемая литература

Приложение А

Приложение Б

Приложение В

Приложение Г

Приложение Д