Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Целью цикла этих лабораторных работ является приобретение студентами практических навыков работы на вакуумном технологическом оборудовании для получения нанослоев различными методами.

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 28 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3867
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 28
Скачиваний: 311

Оглавление (содержание)

Введение

1. Механические вакуумные насосы для предварительной откачки ваукуумной установки

2. Вакуумные напылительные установки

3. Осаждение резистивных и проводящих пленок методом термического испарения в вакууме

4. Ионно-плазменный метод получения нанослоев

List icon

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Технологические процессы в наноэлектронике

11.03.03 Конструирование и технология электронных средств (Конструирование и технология наноэлектронных средств) Очная форма обучения, план набора 2013 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Похожие пособия

Сборник текстов и упражнений для обучения основам технического перевода студентов ТУСУР: Учебно-методическое пособие / Перегудина Е. А., Менгардт Е. Р., Свиридова О. А., Винокурова Н. Н., Белозерова А. Г., Нижевич Е. И., Потапова Т. Н., Тараканова О. И., Соболевская О. В., Шпит Е. И. — 2015. 139 с.

Исследование влияния распределения поля в раскрыве антенны на её диаграмму направленности: Руководство к лабораторной работе / Гошин Г. Г., Никифоров А. Н., Фатеев А. В., Шангина Л. И., Замотринский В. А. — 2013. 28 с.

Методические указания по подготовке к аттестационному экзамену по специальности 210401 «Физика и техника оптической связи»: Учебное методическое пособие / Мандель А. Е., Винокуров В. М., Ефанов В. И., Коханенко А. П., Шандаров В. М., Шарангович С. Н. — 2012. 53 с.

Основы HR-менеджмента: теория и практика: Учебно-методическое пособие / Ларионова А. В., Суслова Т. И., Орлова В. В., Мальцева М. А., Караваева Д. В., Музыка А. А., Солдатенко К. В., Моисеева Д. М., Артеменко А. В., Видершпан П. Н., Чернецова В. Д. — 2018. 83 с.

Безопасность жизнедеятельности: Методические указания для проведения практических занятий и организации самостоятельной работы студентов / Екимова И. А., Тихонова М. В., Аверьянов Г. А., Петровская Н. Е., Туев В. И. — 2012. 151 с.

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос