Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Учебно-методическое пособие обеспечивает самостоятельную работу студентов и аудиторные практические занятия по разделам учебного пособия: основы вакуумной техники (разделы 1-6); термическое испарение в вакууме (раздел 7); ионно-плазменные методы получения нанослоёв (раздел 8); активируемые плазмой методы получения нанослоёв (раздел 9).

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3868
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 20
Скачиваний: 176

Оглавление (содержание)

Введение.

Методические указания по самостоятельной работе студентов.

Задания для аудиторных

Практических занятий

Варианты заданий для

Контрольной работы № 1

Варианты заданий для

Контрольной работы № 2

Литература.

Приложение 1

Приложение 2

Приложение 3

Приложение 4



Похожие пособия