Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»

Учебно-методическое пособие обеспечивает самостоятельную работу студентов и аудиторные практические занятия по разделам учебного пособия: основы вакуумной техники (разделы 1-6); термическое испарение в вакууме (раздел 7); ионно-плазменные методы получения нанослоёв (раздел 8); активируемые плазмой методы получения нанослоёв (раздел 9).

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2013. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3868
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 20
Скачиваний: 255

Оглавление (содержание)

Введение.

Методические указания по самостоятельной работе студентов.

Задания для аудиторных

Практических занятий

Варианты заданий для

Контрольной работы № 1

Варианты заданий для

Контрольной работы № 2

Литература.

Приложение 1

Приложение 2

Приложение 3

Приложение 4

List icon

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-исследовательская работа студентов (УИРС-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2014 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2020 г.

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Основы вакуумной техники

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2015 г. План в архиве

Учебно-проектная деятельность (УПД-4)

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г.

Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО-2)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2017 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа студентов (УИРС-4)

28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) Очная форма обучения, план набора 2019 г. План в архиве

Технологические процессы в наноэлектронике

11.03.03 Конструирование и технология электронных средств (Конструирование и технология наноэлектронных средств) Очная форма обучения, план набора 2013 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-3

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2016 г. План в архиве

Учебно-исследовательская работа в семестре-4

11.03.04 Электроника и наноэлектроника (Микроэлектроника и твердотельная электроника) Очная форма обучения, план набора 2018 г. План в архиве

Похожие пособия

Аудит качеств: Методические рекомендации к практическим занятиям, лабораторным работам и организации самостоятельной работы студентов по дисциплине «Аудит качества» для студентов направления 221400.62 «Управление качеством» / Николаева Л. И. — 2014. 32 с.

Практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональной деятельности (педагогическая практика): Методические указания для обучающихся по программам подготовки научно-педагогических кадров в аспирантуре / Хабибулина Н. Ю., Коцубинский В. П., Коротина Т. Ю. — 2018. 39 с.

Демография: Методические указания к лабораторным работам и организации самостоятельной работы для студентов направления 081100.62 – «Государственное и муниципальное управление» (бакалавриат) / Сидоров А. А. — 2015. 81 с.

Производственная практика. Научно-исследовательская работа: Методические указания / Буймов А. Г. — 2018. 37 с.

Основы проектирования защищенных телекоммуникационных систем: Учебно-методическое пособие / Голиков А. М. — 2008. 27 с.

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00