Вакуумные и плазменные приборы и устройства

1. Введение 4

2. Цели и задачи курсового проектирования 5

3. Тематика курсовых проектов 5

4. Структура курсового проекта 10

5. Календарный график выполнения курсового проекта 11

6. Электронно-оптические системы установок 12

технологического назначения 12

6.1. Общие сведения 12

6.2. Электронно-оптическая система для сварки 12

6.3. Электронно-оптическая система для плавки 13

6.4. Электронно-оптическая система для размерной обработки 15

7. Расчет электронных пушек 17

7.1. Расчет слаботочных низкопервеансных пушек 17

7.2. Расчет высокопервеансных пушек 22

8. Электронные линзы 28

8.1. Линза-диафрагма 28

8.2. Иммерсионная линза 30

8.3. Иммерсионный объектив 32

8.4. Симметричная линза 34

8.5. Магнитная линза 36

8.6. Тепловой расчет тигля 37

9. Расчет параметров параксиальных траекторий электронов в осесимметричных электрическом и магнитном полях в среде программного продукта "MATHCAD 6.0 PLUS" 41

9.1. Введение 41

9.2. Оператор rkfixed( ) 44

Приложение 1 47

Приложение 2 49

Приложение 3 52

Приложение 4 55

Приложение 5 60

Список использованных источников 63