Исследование проводимости вакуумных коммуникаций

В данной работе на основании данных по расходу газа, давлениям, длине свободного пробега молекул проводится оптимизация одного параметра - проводимости. В общем случае задача сводится к генератору задачи, решаемой относительно требуемых параметров. Такие задачи без применения ЭВМ решать не представляется возможным. Кроме того, богатый математический аппарат вакуумной техники позволяет поддерживать системность в общении с компьютером, независимо от стартового уровня знаний в области. В работе строятся простейшие физические и математические модели вакуумных схем установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения с использованием стандартных программных средств компьютерного моделирования. Это позволяет аргументированно выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по курсу «Основы вакуумных технологий».