Методические указания по самостоятельной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение...............................................................................................................6
Раздел 1 Процесс получения материалов для электронных приборов..................7
1.1 Содержание раздела........................................................................................7
1.2 Методические указания по изучению раздела................................................7
1.3 Вопросы для самопроверки............................................................................7
Раздел 2 Кинетика технологического процесса.....................................................8
2.1 Содержание раздела........................................................................................8
2.2 Методические указания по изучению раздела................................................8
2.3 Вопросы для самопроверки.............................................................................8
Раздел 3 Межфазные взаимодействия в технологических процессах....................8
3.1 Содержание раздела........................................................................................8
3.2 Методические указания по изучению раздела.................................................9
3.3 Вопросы для самопроверки.............................................................................9
Раздел 4 Вакуумная технология..............................................................................9
4.1 Содержание раздела.........................................................................................9
4.2 Методические указания по изучению раздела.................................................9
4.3 Вопросы для самопроверки..............................................................................9
Раздел 5 Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология..............10
5.1 Содержание раздела.......................................................................................10
5.2 Методические указания по изучению раздела................................................10
5.3 Вопросы для самопроверки............................................................................10
Раздел 6 Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств.................................................................................................................11
6.1 Содержание раздела..........................................................................................11
6.2 Методические указания по изучению раздела..................................................11
6.3 Вопросы для самопроверки...............................................................................11
Раздел 7 Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов
фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики.....................................11
7.1 Содержание раздела............................................................................................11
7.2 Методические указания по изучению раздела....................................................12
7.3 Вопросы для самопроверки.................................................................................12
Раздел 8 Сервисное обслуживание установки молекулярно-лучевой эпитаксии...................................................................................................................12
8.1 Содержание раздела.............................................................................................12
8.2 Методические указания по изучению раздела.....................................................12
8.3 Вопросы для самопроверки.................................................................................12
9 Лабораторные работы.............................................................................................13
10 Практические занятия...........................................................................................16
10 Темы для самостоятельного изучения.....................................................................17
11 Индивидуальные задания для самостоятельной работы........................................18
11.1 Тематика индивидуальных заданий.....................................................................18
11.2 Порядок выполнения задания............................................................................19
11.3 Требования к отчету по индивидуальному заданию............................................20
12 Тесты для проработки материала............................................................................27 Заключение...................................................................................................................31
Рекомендуемая литература...........................................................................................32
Приложение А...............................................................................................................34
Приложение Б................................................................................................................35
Приложение В................................................................................................................36
Приложение Г.................................................................................................................37
Приложение Д................................................................................................................38
Приложение Е................................................................................................................39
