Сайты ТУСУРа

Методы диагностики полупроводниковых структур

Методические указания к практическим занятиям и самостоятельной работе по дисциплине «Методы диагностики полупроводниковых структур»

В методических указаниях кратко изложены теоретические обоснования тем практических занятий и самостоятельной работы по дисциплине «Методы диагностики полупроводниковых структур». Рассмотрены виды дефектов, электрическая деградация и основные методы диагностики полупроводниковых гетероструктур. На основе анализа содержания дисциплины формулируются темы практических занятий и самостоятельной работы. Приводится методика проведения практических занятий. Дается описание интерактивных методов обучения при выполнении самостоятельной работы. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, интересующихся проблемами диагностики полупроводниковых гетероструктур.

Кафедра конструирования узлов и деталей радиоэлектронной аппаратуры

Библиографическая запись:

Еханин, С. Г. Методы диагностики полупроводниковых структур: Методические указания к практическим занятиям и самостоятельной работе по дисциплине «Методы диагностики полупроводниковых структур» [Электронный ресурс] / С. Г. Еханин. — Томск: ТУСУР, 2022. — 21 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/9784
Автор:   Еханин С. Г.
Год издания: 2022
Количество страниц: 21
Скачиваний: 82

Оглавление (содержание)

1 ВВЕДЕНИЕ..................................................................................................................................................... 3

2 ОБОСНОВАНИЕ ТЕМ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ И САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ....................................... 5

2.1 Устройства на полупроводниковых гетероструктурах................................................................................ 5

2.2 Дефекты структуры и электрическая деградация полупроводниковых гетероструктур в процессе работы 5

2.3 Электрические методы диагностики........................................................................................................... 7

2.4 Оптические методы диагностики................................................................................................................ 9

2.5 Структурные методы диагностики: зондовые методы исследования.......................................................... 11

3 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ.................................................................................. 15

3.1 Темы практических занятий........................................................................................................................ 15

3.2 Сценарий проведения практического занятия........................................................................................... 15

4 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ............................................................................. 18

4.1 Темы самостоятельной работы................................................................................................................... 19

5 СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ.................................................................................................... 20