Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2015 года
Кафедра физической электроники
Автор:
Чистоедова И. А.
Год издания: 2017
Основная литература
Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 :
Доступно в библиотеке:
10
экземпляров
Дополнительная литература
Технология микросхем : Учебное пособие для вузов / О. Д. Парфенов. - М. : Высшая школа, 1986. - 318[2] с.
Доступно в библиотеке:
121
экземпляр
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке:
53
экземляра
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радио-электроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Дисциплины
Основы технологии электронной компонентной базы
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Квантовая и оптическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2015 года