Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Смирнов С.В. Методы исследования надежности наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2010. – 95 с
Доступно в библиотеке:
8
экземпляров
Дополнительная литература
Учебно-методическое пособие
Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум. – Томск: ТУСУР, 2010. – 97 с.
Доступно в библиотеке:
12
экземпляров
Дисциплины
Физические основы надежности изделий твердотельной электроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.4.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2015 года
План в архиве