Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Элементная база квантовых технологий, очная форма обучения, ЭП
Учебный план набора 2024 года
Автор:
Орликов Л. Н.
Год издания: 2024
Основная литература
Орликов, Леонид Николаевич. Специальные вопросы технологии : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 229 с
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Черняев, Владимир Николаевич. Физико-химические процессы в технологии РЭА : Учебник для вузов. - М. : Высшая школа , 1987. - 375[1] с
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Элементная база квантовых технологий
Индекс дисциплины: Б1.В.02.21
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ЭП
Курс: 4
Семестр: 8
Учебный план набора 2024 года