Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Введение 5

Тема 1. Процесс получения материалов для приборов квантовой и оптической электроники 5

1.1 Содержание раздела 5

1.2 Методические указания по изучению раздела 6

1.3 Вопросы для самопроверки 6

Тема 2. Кинетика технологического процесса. Межфазные взаимодействия в технологических процессах 7

2.1 Содержание раздела 7

2.2 Методические указания по изучению раздела 7

2.3 Вопросы для самопроверки 7

Тема 3. Вакуумная технология. Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология 8

3.1 Содержание раздела 8

3.2 Методические указания 8

3.3 Вопросы для самопроверки 10

Тема 4. Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств квантовой и оптической электроники 11

4.1 Содержание раздела 11

4.2 Методические указания 11

4.3 Вопросы для самопроверки 11

Тема 5. Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов квантовой и оптической электроники 12

5.1 Содержание раздела 12

5.2 Методические указания по изучению раздела 12

5.3 Вопросы для самопроверки 12

Тема 6. Сервисное обслуживание установок эпитаксии 13

6.1 Содержание раздела. Правила устройства электроустановок. 13

6.2 Методические указания по изучению раздела 13

6.3 Вопросы для самопроверки 13

7 Лабораторные работы 14

8. Практические занятия 17

9. Темы для самостоятельного изучения разделов 18

Методические указания по изучению тем для самостоятельной проработки материала 19

Темы индивидуальных заданий 20

11 Тесты 21

Рекомендуемая литература 24