Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Физика и технология МЭМС: Рабочая программа учебной дисциплины «Физика и технология МЭМС»/ Нестеренко Т. Г., Барбин Е. С. ‐ 2025
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Физика и технология МЭМС, 2025

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика

Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2025 года

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Авторы:   Нестеренко Т. Г. и Барбин Е. С.
Год издания: 2025

Основная литература

Корнеев, В. С. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения : монография / В. С. Корнеев, Д. В. Чесноков. — Новосибирск : СГУГиТ, 2022. — 171 с.

Косых, А. В. МЭМС: инерциальные системы, микроактюаторы, датчики : учебное пособие / А. В. Косых. — Омск : ОмГТУ, 2015. — 77 с.

Дополнительная литература

Щербакова, Е. Н. Информационные технологии нано- и микросистемной техники : учебно-методическое пособие / Е. Н. Щербакова. — Минск : БНТУ, 2017. — 78 с.

Учебно-методическое пособие

Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П., Коханенко; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с
Доступно в библиотеке: 24 экземляра

Дисциплины

+

Физика и технология МЭМС

Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика

Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.02.08

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 1

Семестр: 2

Учебный план набора 2025 года

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00