Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2025 года
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Дополнительная литература
Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
29
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Методы и технология литографических процессов
Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.02.07
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 1
Семестр: 2
Учебный план набора 2025 года
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00