Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2025 года
Кафедра физической электроники
Дополнительная литература
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие / К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет
систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дисциплины
Физика пленочных наноструктур
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем
Индекс дисциплины: Б1.В.02.03
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 6
Учебный план набора 2025 года