Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, микроэлектроника и программирование цифровых устройств, очная форма обучения, ИРЭТ
Учебный план набора 2025 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дисциплины
Физика плёночных наноструктур
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, микроэлектроника и программирование цифровых устройств
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.01.02.09
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 6
Учебный план набора 2025 года