Основы вакуумной технологии

Практическое занятие 1. Вакуумная технология 5

1.1 Основные понятия 5

1.1.1 Единицы измерения давления и потока 5

1.1.2 Режимы течения газа 5

1.1.3 Проводимость и пропускная способность вакуумных коммуникаций 6

1.1.4 Основное уравнение вакуумной техники 7

1.1.5 Расчет вакуумных систем 8

1.1.6 Согласование откачных средств 10

1.2 Примеры решения задач по теме 10

1.3 Задачи для проработки темы 11

Практическое занятие 2.Подготовка изделий к технологическим операциям 12

2.1 Основные понятия 12

2.2 Примеры решения задач по теме 14

2.3 Задачи для проработки темы 14

Практическое занятие 3.Технология электровакуумных приборов 16

3.1 Основные понятия 16

3.2 Примеры решения задач 17

3.3 Задачи для проработки темы 17

Практическое занятие 4. Пленочная технология, эпитаксия 19

4.1 Основные понятия 19

4.2 Примеры решения задач по теме 20

4.3 Задачи для проработки темы 20

Практическое занятие 5 Сертификация, инструкции, последовательности операций 22

5.1 Основные понятия 22

5.2 Примеры решения задач 22

5.3 Задания для проработки темы 25

Рекомендуемая литература 26