Войти

Научно-образовательный портал ТУСУР

Научно-образовательный портал ТУСУР

Физика плёночных наноструктур, 2026

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, микроэлектроника и программирование цифровых устройств, очная форма обучения, ИРЭТ

Учебный план набора 2026 года

Кафедра физической электроники

Авторы: Иваничко С. П. и Минин О. Н.

Год издания: 2026

Основная литература

Антоненко, С. В. Технология тонких пленок : учебное пособие / С. В. Антоненко. — Москва : НИЯУ МИФИ, 2008. — 104 с.

Дополнительная литература

Васильев, В. Ю. Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск : НГТУ, 2021. — 100 с.

Рыбин Н.Б. Технология изделий микроэлектроники: учеб. пособие / Н.Б. Рыбин, Н.В. Рыбина; Рязан.гос. радиотехн. ун-т. — Рязань, 2023. - 160 с.

Учебно-методическое пособие

Основы вакуумной технологии: Методические указания к практическим занятиям / Орликов Л. Н. — 2017. 26 с.

Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дисциплины

+

Физика плёночных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, микроэлектроника и программирование цифровых устройств

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.01.02.09

Форма обучения: очная

Факультет: ИРЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 6

Учебный план набора 2026 года

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности	1 семестр	2 семестр	3 семестр	4 семестр	5 семестр	6 семестр	7 семестр	8 семестр	Всего	Единицы
Лекционные занятия						26			26	часов
Практические занятия						18			18	часов
Самостоятельная работа						64			64	часов
↳ из них практическая подготовка									0	часов
Общая трудоемкость						108			108	часов
Общая трудоемкость						3			3	З.Е

Контрольные испытания

Вид контроля	Семестры
Зачет с оценкой	6

Компетенции

Код	Содержание
ПК-2	Способен аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения

Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
(3822) 51-05-30
(3822) 51-32-62, 52-63-65
office@tusur.ru
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00