Сайты ТУСУРа

Химические процессы в технологии микроэлектроники

11.04.04 - Электроника и наноэлектроника (Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника)

Очная форма обучения, план набора 2024 г.

Изучается: 2 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.20

Обеспечивающая кафедра: Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Основная литература

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Дополнительная литература

Королёв М.А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч.1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А.. — Москва : Лаборатория знаний, 2020. — 398 c.
Доступно в библиотеке: 7 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачет с оценкой 2

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия1818часов
Практические занятия1818часов
↳ из них практическая подготовка1818часов
Самостоятельная работа7272часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Общая трудоемкость108108часов
33З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-5 Способен к организации и проведению экспериментальных исследований с применением современных средств и методов