Учебное методичесоке пособие
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Предисловие
1 Индексы граней кристаллов
2 Поверхностные процессы и явления
2.1 Поверхностное натяжение
2.2 Смачивание, адгезия
2.3 Адсорбция
3 Варианты контрольных работ
3.1 Контрольная работа No1
3.2 Контрольная работа No2
3.3 Методические указания по выполнению тематических рефератов
3.4 Темы рефератов
3.4.1 Термовакуумный метод получения тонких пленок
3.4.2 Нанесение тонких пленок методом ионного распыления
3.4.3 Методы получения защитных диэлектрических пленок
3.4.4 Химические и электрохимические методы осаждения металлических пленок
3.4.5 Физико-химические основы процессов обработки поверхностей полупроводниковых пластин
3.4.6 Методы создания полупроводниковых структур с заданными свойствами
3.4.7 Литографические процессы
Рекомендуемая литература