Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2024 года
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Основная литература
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Королёв М.А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч.1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А.. — Москва : Лаборатория знаний, 2020. — 398 c.
Доступно в библиотеке:
7
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Химические процессы в технологии микроэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.20
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 1
Семестр: 2
Учебный план набора 2024 года