28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Микросенсорика интеллектуальных систем)
Очная форма обучения, план набора 2025 г.
Изучается: 6 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02
Обеспечивающая кафедра: Институт радиоэлектронной техники
Рабочая программа
Основная литература
Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание / Г. А. Воробьев, В. А. Мухачев. - М. : Советское радио, 1977. - 69 с.
Доступно в библиотеке:
28
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с.
Доступно в библиотеке:
109
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Чистоедова, Инна Анатольевна. Основы технологии электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направлений подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 80 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Зачет с оценкой | 6 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Практические занятия | 56 | 56 | часов | |||||||
| ↳ из них практическая подготовка | 56 | 56 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 88 | 88 | часов | |||||||
| ↳ из них практическая подготовка | 0 | часов | ||||||||
| Общая трудоемкость | 144 | 144 | часов | |||||||
| 4 | 4 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ПК-2 | Готов проводить экспериментальные исследования по синтезу и анализу материалов и компонентов нано- и микросистемной техники |
| ПК-3 | Готов анализировать и систематизировать результаты исследований, представлять материалы в виде научных отчетов, публикаций, презентаций |
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00