Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2025 года
Институт радиоэлектронной техники
Основная литература
Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание / Г. А. Воробьев, В. А. Мухачев. - М. : Советское радио, 1977. - 69 с.
Доступно в библиотеке:
28
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с.
Доступно в библиотеке:
109
экземпляров
Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Чистоедова, Инна Анатольевна. Основы технологии электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направлений подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 80 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дисциплины
Учебно-проектная деятельность (УПД-3)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем
Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ИРЭТ
Курс: 3
Семестр: 6
Учебный план набора 2025 года