Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Учебно-проектная деятельность (УПД-3): Рабочая программа учебной дисциплины «Учебно-проектная деятельность (УПД-3)»/ Сахаров Ю. В., Коваленко И. О. ‐ 2025
Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Учебно-проектная деятельность (УПД-3), 2025

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2025 года

Институт радиоэлектронной техники


Год издания: 2025

Основная литература

Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Дополнительная литература

Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание / Г. А. Воробьев, В. А. Мухачев. - М. : Советское радио, 1977. - 69 с.
Доступно в библиотеке: 28 экземпляров

Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с.
Доступно в библиотеке: 109 экземпляров

Воробьев, Григорий Абрамович. Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Чистоедова, Инна Анатольевна. Основы технологии электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направлений подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 80 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр


Дисциплины

+

Учебно-проектная деятельность (УПД-3)

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Микросенсорика интеллектуальных систем

Индекс дисциплины: Б1.В.03.ДВ.03.02

Форма обучения: очная

Факультет: ИРЭТ

Кафедра: ИРЭТ

Курс: 3

Семестр: 6

Учебный план набора 2025 года