Специальные вопросы технологии приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики

Введение

Раздел 1 Процесс получения материалов для электронных приборов

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

1.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 2 Кинетика технологического процесса

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3 Межфазные взаимодействия в технологических процессах

3.1 Содержание раздела

3.2 Методические указания по изучению раздела

3.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4 Вакуумная технология

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 5 Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 6 Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств

6.1 Содержание раздела

6.2 Методические указания по изучению раздела

6.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 7 Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики

7.1 Содержание раздела

7.2 Методические указания по изучению раздела

7.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 8 Сервисное обслуживание установки молекулярно-лучевой эпитаксии

8.1 Содержание раздела

8.2 Методические указания по изучению раздела

8.3 Вопросы для самопроверки

9 Лабораторные работы

10 Практические занятия

10 Темы для самостоятельного изучения

11 Индивидуальные задания для самостоятельной работы

11.1 Тематика индивидуальных заданий

11.2 Порядок выполнения задания

11.3 Требования к отчету по индивидуальному заданию

12 Тесты для проработки материала

Заключение

Рекомендуемая литература

Приложение А

Приложение Б

Приложение В

Приложение Г

Приложение Д

Приложение Е