Методические указания по самостоятельной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
Раздел 1 Процесс получения материалов для электронных приборов
1.1 Содержание раздела
1.2 Методические указания по изучению раздела
1.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 2 Кинетика технологического процесса
2.1 Содержание раздела
2.2 Методические указания по изучению раздела
2.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 3 Межфазные взаимодействия в технологических процессах
3.1 Содержание раздела
3.2 Методические указания по изучению раздела
3.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 4 Вакуумная технология
4.1 Содержание раздела
4.2 Методические указания по изучению раздела
4.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 5 Электронно-лучевая, ионно-лучевая и плазменная технология
5.1 Содержание раздела
5.2 Методические указания по изучению раздела
5.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 6 Специальные вопросы технологии изготовления приборов и устройств
6.1 Содержание раздела
6.2 Методические указания по изучению раздела
6.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 7 Процесс эпитаксиального выращивания структур для приборов фотоники, голографии, интегральной и волоконной оптики
7.1 Содержание раздела
7.2 Методические указания по изучению раздела
7.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 8 Сервисное обслуживание установки молекулярно-лучевой эпитаксии
8.1 Содержание раздела
8.2 Методические указания по изучению раздела
8.3 Вопросы для самопроверки
9 Лабораторные работы
10 Практические занятия
10 Темы для самостоятельного изучения
11 Индивидуальные задания для самостоятельной работы
11.1 Тематика индивидуальных заданий
11.2 Порядок выполнения задания
11.3 Требования к отчету по индивидуальному заданию
12 Тесты для проработки материала
Заключение
Рекомендуемая литература
Приложение А
Приложение Б
Приложение В
Приложение Г
Приложение Д
Приложение Е