Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Основы вакуумной техники: Методические указания по выполнению лабораторных работ / Данилина Т. И. — 2025. 28 с.
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Основы вакуумной техники

Методические указания по выполнению лабораторных работ

Пособие является руководством для выполнения лабораторных работ по дисциплине «Основы вакуумной техники». Кратко освещены теоретические вопросы об основных устройствах вакуумной техники, используемых при выполнении лабораторных работ, указан порядок выполнения лабораторных работ. Для студентов высших учебных заведений технических специальностей.

Кафедра физической электроники

Библиографическая запись:

Данилина, Т. И. Основы вакуумной техники: Методические указания по выполнению лабораторных работ [Электронный ресурс] / Т. И. Данилина. — Томск: ТУСУР, 2025. — 28 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/11221
Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2025
Количество страниц: 28
Скачиваний: 68

Оглавление (содержание)

ВВЕДЕНИЕ......................................................................................................................................... 4

1. МЕХАНИЧЕСКИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ С МАСЛЯНЫМ УПЛОТНЕНИЕМ.......................... 5

2. ПАРОМАСЛЯНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ....................................................................... 9

3. ТЕПЛОВЫЕ ВАКУУММЕТРЫ........................................................................................................ 15

4. ВАКУУМНЫЕ НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ........................................................................ 22

List icon

Похожие пособия

Вакуумные и специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники: Учебное пособие для студентов направления «210100.62 – Электроника и наноэлектроника» / Орликов Л. Н. — 2013. 103 с.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебное пособие / Данилина Т. И. — 2012. 89 с.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 28 с.

Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики: Методические указания к практическим занятиям / Орликов Л. Н. — 2019. 24 с.

Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики: Методические указания к практическим занятиям / Орликов Л. Н. — 2012. 24 с.

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00