Методические указания к лабораторной работе
Целью настоящей работы является комплексное исследование УВН 2М-1. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Спец. вопросы технологии».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Сервисное обслуживание вакуумной установки УВН 2М-1: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 21 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1917
Оглавление (содержание)
1. Введение
2. Описание установки
2.1 Вакуумная схема установки
2.2 Схема работы вакуумной установки
2.3 Гидравлическая система вакуумной установки
2.4 Электрические схемы
2.5 Схема охлаждения
2.6 Конструкции соединений пушки
2.7 Высоковольтная схема питания источников электронов
3. Сервисное обслуживание установки
3.1 Исследование и сервисное обслуживание термопарного датчика
3.2 Исследование механического насоса на предельный вакуум
3.3 Десорбционная характеристика
3.4 Диффузионный насос 2НВР – 5ДМ
3.5 Карта течей установки
Заключение
Список литературы