Специальные вопросы технологии приборов квантовой и оптической электроники

Введение

Лабораторная работа 1. Исследование плазмы газового разряда методом двойного зонда

1 Введение

2.1 Общие понятия

2.2 Оценка параметров плазмы

2.3 Контрольные вопросы

3 Экспериментальная часть

3.1 Оборудование

3.2 Задание на работу

3.3 Обработка результатов измерений

3.4 Методические указания по выполнению работы

3.5 Содержание отчета

Лабораторная работа 2. Исследование методов поиска течей в электровакуумных приборах

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Общие положения

2.2 Манометрический метод течеискания

2.3. Масс-спектрометрический метод течеискания

2.4 Контрольные вопросы

3 Экспериментальная часть

3.1 Задание на работу

3.2 Описание лабораторной установки

3.3 Методические указания по выполнению лабораторной работы и по подготовке течеискателя ПТИ-6 к работе

3.4 Содержание отчета

Лабораторная работа 3. Исследование плазменного источника электронов

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Основные определения

2.2 Параметры плазменных источников электронов

2.2.1 Эксплуатационные параметры

2.2.2 Физико-технологические параметры

2.3 Эмиссия электронов из плазмы

2.4 Электронные источники на основе разряда с холодным катодом в магнитном поле

2.5 Отражательный разряд с полым катодом

2.6 Электронные источники на основе отражательного разряда с полым катодом

3 Экспериментальная часть

3.1 Оборудование

3.2 Задание

3.3 Методические указания по выполнению лабораторной работы

3.4 Содержание отчета

Список литературы

Приложение А Методика работы с вакуумметром ВСБ-1