Подготовка к проведению технологического процесса

1 Введение

2 Порядок выполнения работы и методические указания

2.1 Методика измерения вакуума

2.1.1 Измерение форвакуума (P<10-3 мм рт ст)

2.1.2 Измерение высокого вакуума (термопарный прибор должен «зашкаливать»)

2.2 Методика измерения адгезии пленки

2.3 Методика измерения расхода газа

2.4 Методика измерения толщины пленки на эллипсометре

2.4.1 Измерение металлической пленки по пропусканию лазерного излучения

2.4.2 Измерение толщины прозрачной пленки и показателя ее преломления

3 Задание

3.1 Задание по измерению вакуума

3.2 Задание по измерению адгезии пленки

3.3 Задание по измерению расхода газа

3.4 Задание по измерению толщины пленки на эллипсометре

4 Содержание отчета

Рекомендуемая литература