Специальные вопросы технологии приборов квантовой электроники

Введение 5

Практическое занятие 1. Проектирование безмасляных вакуумных систем для технологии производства приборов квантовой электроники 5

1.1 Основные понятия 5

1.2 Примеры решения задач по теме 8

1.3 Задачи для проработки темы 8

1.4 Ответы к задачам 9

Практическое занятие 2. Расчет безмасляной вакуумной системы для технологии приборов квантовой электроники (индивидуальное задание) 10

2.1 Основные понятия 10

2.2 Задачи для проработки темы 11

Практическое занятие 3. Проектирование подготовительных операций для технологии приборов квантовой электроники 13

3.1 Основные понятия 13

3.2 Примеры решения задач по теме 15

3.3 Задачи по проработки темы 16

3.4 Ответы к задачам 17

Практическое занятие 4. Расчет электрофизических параметров источников частиц для технологии приборов квантовой электроники 18

4.1 Основные понятия 18

4.2 Примеры решения задач по теме 19

4.3 Задачи для проработки темы 20

4.4 Ответы к задачам 21

Практическое занятие 5. Расчет сорбции и десорбции газа для технологии приборов квантовой электроники 22

5.1 Основные понятия 22

5.2 Примеры решения задач по теме 23

5.3 Задачи для проработки темы 24

5.4 Ответы к задачам 26

Практическое занятие 6. Сертификация (семинар) 27

6.1 Тесты по теме 27

6.2 Вопросы для обсуждения и выступлений на семинаре 29

Практическое занятие 7. Рекомендации по разработке инструкций для технологии разработки приборов квантовой электроники 30

7.1 Основные понятия 30

7.2 Примеры решения задач по теме 31

7.3 Задачи для проработки темы 32

7.4 Ответы к задачам 33

Практическое занятие 8. Расчет параметров технологических операций 34

8.1 Основные понятия 34

8.2 Примеры решения задач по теме 34

8.3 Задачи для решения по теме 34

8.4 Ответы к задачам 36

Рекомендуемая литература 37