Методические указания по самостоятельной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Раздел 1. Введение. Основные определения и физические основы нанотехнологий фотоники ...........5
Раздел 2. Эпитаксия, нанесение металлов и диэлектриков .................................6
Раздел 3. Методы оптической литографии. Современные технологии оптической литографии ......................7
Раздел 4 Формирование периодических наноструктур в диэлектрических и полупроводниковых средах с различной размерностью.....................................8
5 Лабораторные работы ......................................9
6 Практические занятия .....................................12
7 Темы для самостоятельного изучения разделов .............13
Тесты для проработки лекционного материала ..................15
Индивидуальные задания для самостоятельной работы .......17
Заключение.....................................................30
Рекомендуемая литература ......................31
