Сайты ТУСУРа

Результаты научной деятельности

RIE Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network

Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XIII Международная научно-практическая конференция, посвященная 55-летию ТУСУРа
2017 Опубликовано почти 6 лет назад

Review of the application of virtual metrology approach in semiconductor manufacturing

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано больше 5 лет назад