Результаты научной деятельности
Local ion-plasma etching of dielectrics initiated and controlled by the electron beam in fore-vacuum pressure range
Статья в журнале
Vacuum
2020
Опубликовано
почти 4 года назад
On the effect of ceramic target composition on coatings deposited by electron-beam evaporation at forevacuum pressure
Статья в журнале
Ceramics International
2020
Опубликовано
почти 4 года назад
Deposition of boron-containing coatings by electron-beam evaporation of boron-containing targets
Статья в журнале
Ceramics International
2020
Опубликовано
почти 4 года назад
Plasma Generation upon Gas Ionization by Electronic Sources in the Pressure Range of 1-100 Pa (Review)
Статья в журнале
Plasma Physics Reports
2020
Опубликовано
почти 4 года назад