Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Основы вакуумной техники: Рабочая программа учебной дисциплины «Основы вакуумной техники»/ Жидик Ю. С. ‐ 2022
Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Основы вакуумной техники, 2022

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2019 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники

Автор:   Жидик Ю. С.
Год издания: 2022

Основная литература

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебное пособие / Данилина Т. И. — 2012. 89 с.

Дополнительная литература

Основы вакуумной техники, технологии: учеб. пособие / А.Н. Ярмонов. - Пермь: Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010. - 174 с.

Учебно-методическое пособие

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для подготовки студентов по направлениям 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 20 с.

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур: Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направлений 210100.62 «Электроника и наноэлектроника» и 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника» / Данилина Т. И. — 2013. 28 с.

Дисциплины

+

Основы вакуумной техники

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.05

Форма обучения: очная

Факультет: ИРЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2019 года

План в архиве

  • Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Address 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40
  • Phone (3822) 51-05-30
  • Printer (3822) 51-32-62, 52-63-65
  • Email office@tusur.ru
  • Time Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00