Сайты ТУСУРа

Основы вакуумных технологий, 2023

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП

Учебный план набора 2023 года

Кафедра электронных приборов


Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2023

Основная литература

Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров

Орликов, Леонид Николаевич. Основы вакуумных технологий : учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУРа , 2021. - 123 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров

Дополнительная литература

Степаненко, Игорь Павлович. Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов. - М. : Лаборатория Базовых Знаний , 2004. - 488 с.
Доступно в библиотеке: 224 экземляра

Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с.
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Основы вакуумных технологий

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.02.09

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2023 года