Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Основы вакуумных технологий, 2023

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника, очная форма обучения, ЭП

Учебный план набора 2023 года

Кафедра электронных приборов

Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2023

Основная литература

Основы вакуумных технологий: Учебное пособие / Орликов Л. Н. — 2018. 89 с.

Барыбин, Анатолий Андреевич. Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы : Учебное пособие для вузов. - М. : Физматлит , 2006. - 423[1] с
Доступно в библиотеке: 130 экземпляров

Ярмонов, А. Н. Вакуумные технологии : учебное пособие / А. Н. Ярмонов. — Пермь : ПНИПУ, 2015. — 306 с. — ISBN 978-5-398-01449-5. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система.

Орликов, Леонид Николаевич. Основы вакуумных технологий : учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУРа , 2021. - 123 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров

Дополнительная литература

Степаненко, Игорь Павлович. Основы микроэлектроники : учебное пособие для вузов. - М. : Лаборатория Базовых Знаний , 2004. - 488 с.
Доступно в библиотеке: 224 экземляра

Орликов, Леонид Николаевич. Молекулярно-лучевая эпитаксия : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 107 с.
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Ярмонов, А. Н. Основы вакуумной техники, технологии : учебное пособие / А. Н. Ярмонов. — Пермь : ПНИПУ, 2010. — 174 с. — ISBN 978-5-398-00487-8. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система.

Учебно-методическое пособие

Исследование вакуумной системы на герметичность: Методические указания к лабораторной работе / Орликов Л. Н. — 2018. 11 с.

Исследование проводимости вакуумных коммуникаций: Методические указания к лабораторной работе / Орликов Л. Н. — 2018. 15 с.

Исследование процесса ионной обработки материалов: Методические указания к лабораторной работе / Орликов Л. Н. — 2018. 18 с.

Основы вакуумной технологии: Методические указания к практическим занятиям / Орликов Л. Н. — 2017. 26 с.

Основы вакуумных технологий: Методические указания по самостоятельной работе / Орликов Л. Н. — 2018. 24 с.

Дисциплины

+

Основы вакуумных технологий

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Квантовая и оптическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.02.09

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ЭП

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2023 года

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос