Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Интегральная фотоника и оптоэлектроника | Химические процессы в технологии микроэлектроники
Сайты ТУСУРа

Химические процессы в технологии микроэлектроники

12.04.03 - Фотоника и оптоинформатика (Интегральная фотоника и оптоэлектроника)

Очная форма обучения, план набора 2025 г.

Изучается: 3 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.03.05

Обеспечивающая кафедра: Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Основная литература

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Зачет с оценкой 3

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия1818часов
Практические занятия1818часов
Самостоятельная работа144144часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Общая трудоемкость180180часов
55З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-2 Способен использовать современные достижения науки и передовые технологии в профессиональной деятельности