Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2025 года
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Основная литература
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Химические процессы в технологии микроэлектроники
Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.03.05
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2025 года
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00