Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР | Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника | Современные технологии микро- и наноэлектроники
Сайты ТУСУРа

Современные технологии микро- и наноэлектроники

11.04.04 - Электроника и наноэлектроника (Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника)

Очная форма обучения, план набора 2026 г.

Изучается: 2 семестр

Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)

Индекс дисциплины: Б1.О.02.05

Обеспечивающая кафедра: Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Основная литература

Данилина, Тамара Ивановна. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУРа , 2020. - 340 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Данилина, Тамара Ивановна. Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке: 31 экземпляр

Дополнительная литература

Данилина, Тамара Ивановна. Технология СБИС : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 48 экземпляров

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 101 экземпляр

Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР , 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Чистоедова, Инна Анатольевна. Современные микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". - Томск : Издательство ТУСУРа , 2022. - 56 с.
Доступно в библиотеке: 26 экземпляров


Контрольные испытания

Вид контроля Семестры
Экзамен 2

Объем дисциплины и виды учебной деятельности

Вид учебной деятельности 1 семестр 2 семестр 3 семестр 4 семестр Всего Единицы
Лекционные занятия2828часов
Практические занятия3636часов
Самостоятельная работа8080часов
↳ из них практическая подготовка0часов
Подготовка и сдача экзамена/зачета3636часов
Общая трудоемкость180180часов
55З.Е

Компетенции

Код Содержание
ПК-2 Способен использовать современные достижения науки и передовые технологии в профессиональной деятельности
ПК-4 Способен осуществлять проектирование и разработку технологических процессов производства объектов профессиональной деятельности