Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2026 года
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Основная литература
Данилина, Тамара Ивановна. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУРа , 2020. - 340 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Данилина, Тамара Ивановна. Технология кремниевой наноэлектроники : учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2015. - 319 с.
Доступно в библиотеке:
31
экземпляр
Дополнительная литература
Данилина, Тамара Ивановна. Технология СБИС : Учебное пособие. - Томск : ТУСУР , 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
48
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов. - Томск : ТУСУР , 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР , 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Чистоедова, Инна Анатольевна. Современные микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". - Томск : Издательство ТУСУРа , 2022. - 56 с.
Доступно в библиотеке:
26
экземпляров
Дисциплины
Современные технологии микро- и наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника
Индекс дисциплины: Б1.О.02.05
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 1
Семестр: 2
Учебный план набора 2026 года
Пн. – пт., 8:30 – 17:30, обед, 13:00 – 14:00