Методические указания к самостоятельной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
Раздел 1 Основы электронно-ионных и плазменных технологий
1.1 Содержание раздела
1.2 Методические указания по изучению раздела
Раздел 2 Взаимодействие электронов с твердым телом
2.1 Содержание раздела
2.2 Методические указания по изучению раздела
2.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 3 Взаимодействие ионов с твердым телом
2.1 Содержание раздела
2.2 Методические указания по изучению раздела
2.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 4 Тепловое действие лазерных, электронных и ионных лучей
4.1 Содержание раздела
4.2 Методические указания по изучению раздела
4.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 5 Модификация поверхностных свойств твердого тела при облучении пучками ускоренных частиц
5.1 Содержание раздела
5.2 Методические указания по изучению раздела
5.3 Вопросы для самопроверки
6 Лабораторные занятия
7 Темы для самостоятельного изучения
Заключение
Список литературы
Процессы лазерной и электронно-ионной обработки
11.04.04 Электроника и наноэлектроника (Квантовая и оптическая электроника) Очная форма обучения, план набора 2021 г. План в архиве