Технология кремниевой наноэлектроники

В соответствии с требованиями профессионального стандарта в результате изучения дисциплины «Технология кремниевой наноэлектроники» магистрант должен приобрести знания в области технологии сверхбольших и сверхбыстродействующий интегральных схем, по исследованиям в новых направлениях, по технико-экономическим и прогностическим исследованиям в отрасли, а также приобрести умения оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления устройств кремниевой наноэлектроники. Для реализации практико-ориентированных аудиторных практических занятий были разработаны индивидуальные задания, предусматривающие расчеты параметров технологических процессов, выбор конкретной технологии с учетом технико-экономических соображений. Обязательным элементом этих практик являются выводы с рекомендацией параметров технологических процессов и оборудованием. Учебно-методическое пособие содержит варианты индивидуальных заданий для аудиторных практических занятий, тестовые контрольные задания, варианты домашних индивидуальных заданий, варианты аудиторных контрольных работ, темы докладов, вопросы для экзамена. В приложениях приведены справочные данные. Пособие предназначено для магистрантов по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» профиль «Твердотельная электроника».