Сайты ТУСУРа

Результаты научной деятельности

Approaches to development of behavioral models of semiconductor etching process

Статья в сборнике трудов конференции
Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2017», посвященная 55-летию ТУСУРа
2017 Опубликовано почти 6 лет назад

RIE Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network

Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XIII Международная научно-практическая конференция, посвященная 55-летию ТУСУРа
2017 Опубликовано почти 6 лет назад

Plasma-Chemical Etching Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network

Статья в сборнике трудов конференции
Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП - 2018
2018 Опубликовано почти 6 лет назад

Review of the application of virtual metrology approach in semiconductor manufacturing

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано больше 5 лет назад

Visual analysis of CMP metrology data for predictive modeling

Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018 Опубликовано больше 5 лет назад

A Study on the Effect of Ion Implantation Process Variations on the Small-Signal MESFET Model Parameters

Статья в сборнике трудов конференции
2019 International Multi-Conference on Engineering, Computer and Information Sciences (SIBIRCON)
2019 Опубликовано больше 4 лет назад