Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2019 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технологическое оборудование микро- и нанотехнологий (ГПО-4)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.04.01
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 4
Семестр: 7
Учебный план набора 2019 года
План в архиве