Методические указания к лабораторной работе
Целью настоящей работы является изучение процесса нанесения пленок магнетронным способом, выяснение механизма ионного распыления мишени магнетрона, расчеты параметров ионного распыления, исследование характеристик получаемых пленок.
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 23 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3459
Оглавление (содержание)
1 Введение
2 Теоретическая часть
2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная схема магнетрона
2.2 Параметры магнетронных распылительных систем
2.3 Параметры плазмы
2.4 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем
2.5 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов
2.6 Конструктивные схемы магнетронных систем
2.7 Геометрические параметры магнетронных систем
3 Экспериментальная часть
3.1 Вакуумное оборудование
3.2 Электронное оборудование
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Вопросы для самопроверки
3.5 Содержание отчета
Список литературы
