Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная схема магнетрона

2.2 Параметры магнетронных распылительных систем

2.3 Параметры плазмы

2.4 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем

2.5 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов

2.6 Конструктивные схемы магнетронных систем

2.7 Геометрические параметры магнетронных систем

3 Экспериментальная часть

3.1 Вакуумное оборудование

3.2 Электронное оборудование

3.3 Порядок выполнения работы и методические указания

3.4 Вопросы для самопроверки

3.5 Содержание отчета

Список литературы